12月22日晚間，萬(wàn)業(yè)企業(yè)(600641.SH)發(fā)布公告，公司攜手寧波芯恩成立長(zhǎng)三角一體化示范區(qū)(浙江嘉善)嘉芯半導(dǎo)體設(shè)備科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“嘉芯半導(dǎo)體”)，以20億元總投資規(guī)模，重點(diǎn)打造國(guó)內(nèi)集成電路設(shè)備龍頭企業(yè)，覆蓋刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理及退火、清洗設(shè)備等多款集成電路核心前道設(shè)備，形成“1+N”產(chǎn)品平臺(tái)模式，多方位布局半導(dǎo)體核心設(shè)備賽道。

　　據(jù)公告顯示，嘉芯半導(dǎo)體成立于2021年4月，萬(wàn)業(yè)企業(yè)持股占比80%為其第一大股東，寧波芯恩持股占比20%。2021年12月22日，嘉芯半導(dǎo)體與嘉善縣西塘鎮(zhèn)人民政府簽訂項(xiàng)目投資協(xié)議書(shū)和補(bǔ)充協(xié)議。項(xiàng)目未來(lái)將形成年產(chǎn)2450臺(tái)/套新設(shè)備和50臺(tái)/套半導(dǎo)體翻新裝備研發(fā)及制造基地，用地面積109畝，投資總額達(dá)20億元，萬(wàn)業(yè)企業(yè)作為控股股東出資不超過(guò)8億元。

　　目前，全球半導(dǎo)體市場(chǎng)芯片供應(yīng)緊縮、芯片需求爆發(fā)，銷(xiāo)售額連續(xù)17個(gè)月同比正增長(zhǎng)，晶圓廠商紛紛加大資本開(kāi)支進(jìn)行擴(kuò)產(chǎn)。2020 年中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷(xiāo)售額達(dá)187億美元，全球占比約30%。據(jù)集微咨詢(xún)數(shù)據(jù)，目前大陸地區(qū)晶圓廠現(xiàn)有產(chǎn)能折合8寸約162萬(wàn)片/月，總規(guī)劃產(chǎn)能折合8寸為462萬(wàn)片/月，潛在擴(kuò)產(chǎn)產(chǎn)能折合8寸達(dá)到300萬(wàn)片/月。從2021年來(lái)看，預(yù)計(jì)新增產(chǎn)能折合8寸64萬(wàn)片/月，未來(lái)幾年晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)將持續(xù)活躍帶動(dòng)高位設(shè)備需求。同時(shí)，由于設(shè)備技術(shù)位于行業(yè)頂尖高端技術(shù)水平，對(duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有戰(zhàn)略性支撐地位，因此國(guó)產(chǎn)替代是國(guó)內(nèi)晶圓廠的共識(shí)，這將為國(guó)產(chǎn)設(shè)備帶來(lái)發(fā)展機(jī)遇期。當(dāng)前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體市場(chǎng)仍以進(jìn)口設(shè)備為主，設(shè)備國(guó)產(chǎn)率仍偏低。根據(jù)《中國(guó)制造2025》的規(guī)劃，2025年半導(dǎo)體核心基礎(chǔ)零部件、關(guān)鍵基礎(chǔ)材料應(yīng)實(shí)現(xiàn)70%的自主保障。而萬(wàn)業(yè)企業(yè)以原有離子注入機(jī)業(yè)務(wù)疊加嘉芯半導(dǎo)體打造“1+N”模式，可進(jìn)一步增厚設(shè)備技術(shù)護(hù)城河，筑基多產(chǎn)品設(shè)備龍頭地位。

　　嘉芯半導(dǎo)體致力于開(kāi)拓國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域市場(chǎng)，未來(lái)將形成以刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、快速熱處理及退火設(shè)備、清洗設(shè)備尾氣處理設(shè)備等為主的研發(fā)制造及再制造能力，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備的自主可控。公司將設(shè)立6個(gè)子公司，2個(gè)事業(yè)部，主要從事刻蝕機(jī)、快速熱處理、薄膜沉積、單片清洗機(jī)、槽式清洗機(jī)、尾氣處理、機(jī)械手臂等8寸和12寸半導(dǎo)體新設(shè)備開(kāi)發(fā)生產(chǎn)及設(shè)備再制造等相關(guān)業(yè)務(wù)，產(chǎn)品范圍覆蓋芯片制造核心設(shè)備的大部分品類(lèi)，可自主研發(fā)和再制造刻蝕、薄膜沉積、清洗設(shè)備等10類(lèi)產(chǎn)品。值得一提的是，伴隨功率器件、MEMS、電源管理芯片等特色工藝應(yīng)用的快速增長(zhǎng)推動(dòng)了8英寸晶圓需求爆發(fā)，該項(xiàng)目將先后布局8寸設(shè)備與12寸設(shè)備市場(chǎng)，有望為當(dāng)下主流成熟制程提供高性能的產(chǎn)品。

　　此外，嘉芯半導(dǎo)體第二大股東為寧波芯恩，持股占比20%。據(jù)企查查顯示，寧波芯恩的主要股東為“華人半導(dǎo)體教父”中芯國(guó)際創(chuàng)始人張汝京博士，張博士是全球知名半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)著名的技術(shù)與運(yùn)營(yíng)管理專(zhuān)家，擁有40+年的半導(dǎo)體集成電路微納工程制造技術(shù)、材料、裝備等領(lǐng)域的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)歷。他在美國(guó)德州儀器工作了20年，從TI提早退休后，曾任臺(tái)灣世大半導(dǎo)體總經(jīng)理。2000年，張汝京博士募集14億美元?jiǎng)?chuàng)辦中芯國(guó)際，向世界芯片制造第一梯隊(duì)沖刺。隨后，陸續(xù)在國(guó)內(nèi)投資了幾家LED企業(yè)。2014年創(chuàng)辦新昇半導(dǎo)體，為大陸半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)彌補(bǔ)了硅材料的短板。2018年，張汝京博士再次創(chuàng)業(yè)，投身于大陸首個(gè)共享共有式集成電路制造(CIDM)項(xiàng)目芯恩半導(dǎo)體。

　　近年來(lái)，萬(wàn)業(yè)企業(yè)轉(zhuǎn)型聚焦半導(dǎo)體設(shè)備和材料領(lǐng)域，2018年率先收購(gòu)凱世通，進(jìn)而成為全球少數(shù)掌握全領(lǐng)域離子注入機(jī)核心設(shè)備技術(shù)的高新企業(yè)。今年5月，萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下的凱世通低能大束流離子注入機(jī)率先在國(guó)內(nèi)12英寸主流集成電路芯片制造廠完成設(shè)備驗(yàn)證驗(yàn)收工作，這也是國(guó)產(chǎn)首臺(tái)完成主流客戶(hù)驗(yàn)證并確認(rèn)收入的國(guó)產(chǎn)低能大束流設(shè)備，標(biāo)志國(guó)產(chǎn)化設(shè)備在成熟工藝這一重大技術(shù)領(lǐng)域取得商用化突破。此外，凱世通重金屬離子注入機(jī)和超低溫大束流離子注入機(jī)已完成客戶(hù)交付，高能離子注入機(jī)設(shè)備按客戶(hù)交付計(jì)劃進(jìn)行組裝，同時(shí)公司與國(guó)內(nèi)另一家12英寸芯片制造廠分別簽署1臺(tái)低能大束流超低溫離子注入機(jī)和1臺(tái)高能離子注入機(jī)訂單。值得一提的是，2020年萬(wàn)業(yè)企業(yè)聯(lián)合境內(nèi)外投資人收購(gòu)Compart Systems，提升集成電路設(shè)備領(lǐng)域核心組件與部件的國(guó)產(chǎn)化率，填補(bǔ)本土供應(yīng)鏈空白。

　　本次成立的嘉芯半導(dǎo)體項(xiàng)目疊加其原有的凱世通離子注入機(jī)業(yè)務(wù)，萬(wàn)業(yè)企業(yè)打造的“1+N”全領(lǐng)域前道設(shè)備平臺(tái)化效應(yīng)進(jìn)一步凸顯，將成為目前國(guó)內(nèi)設(shè)備品類(lèi)最為齊全的集成電路龍頭平臺(tái)企業(yè)之一。

　　未來(lái)，萬(wàn)業(yè)企業(yè)將通過(guò)自主研發(fā)與外延式并購(gòu)雙輪驅(qū)動(dòng)，扎實(shí)推動(dòng)公司快速向集成電路產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域轉(zhuǎn)型，不斷提高集成電路的整體業(yè)務(wù)占比，增厚公司核心競(jìng)爭(zhēng)力。隨著半導(dǎo)體設(shè)備自主可控的緊迫性和必要性進(jìn)一步凸顯，國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程正全面提速，萬(wàn)業(yè)企業(yè)將助力國(guó)產(chǎn)高端半導(dǎo)體設(shè)備材料步入加速上升通道，持續(xù)推動(dòng)中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)健康蓬勃發(fā)展。