日前，我國(guó)戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)再傳捷報(bào)，泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)智能裝備生產(chǎn)企業(yè)合肥欣奕華智能機(jī)器有限公司（以下簡(jiǎn)稱“合肥欣奕華”）開發(fā)的首臺(tái)硅基OLED蒸鍍機(jī)成功導(dǎo)入臺(tái)州觀宇科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“觀宇科技”） 量產(chǎn)線并完成全彩點(diǎn)亮，這標(biāo)志著我國(guó)泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)核心工藝裝備實(shí)現(xiàn)自主化邁入新的里程碑。

據(jù)悉，觀宇微顯示器采用無(wú)彩膜、自發(fā)光native RGB AMOLED技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高像素密度、高亮度、高對(duì)比度、高色彩飽和度與低功耗。作為國(guó)內(nèi)OLED裝備研發(fā)制造廠商，合肥欣奕華成功為其完成了核心工藝設(shè)備——硅基OLED蒸鍍機(jī)的開發(fā)攻關(guān)。這是國(guó)內(nèi)首臺(tái)全自主研發(fā)面世的硅基OLED蒸鍍機(jī)，是合肥欣奕華基于長(zhǎng)期技術(shù)積累，攻克“卡脖子”技術(shù)難題，繼成功研發(fā)G1（可蒸鍍基板尺寸200*200mm）、G2.5（可蒸鍍基板尺寸370*470mm）OLED蒸鍍機(jī)及G6 H（可蒸鍍基板尺寸925*1500mm）蒸鍍機(jī)關(guān)鍵裝置之后的又一重大突破，也是我國(guó)泛半導(dǎo)體領(lǐng)域核心工藝裝備自主化道路上的又一里程碑。

蒸鍍機(jī)是OLED顯示器件制備環(huán)節(jié)的核心設(shè)備，蒸鍍機(jī)把有機(jī)發(fā)光材料精準(zhǔn)、均勻、可控地蒸鍍到基板上，是推動(dòng)相關(guān)技術(shù)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的最關(guān)鍵因素，也是保障高精細(xì)度顯示產(chǎn)品順利量產(chǎn)的核心要素。合肥欣奕華通過(guò)借鑒OLED蒸鍍機(jī)研發(fā)設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)，依托OLED蒸鍍機(jī)蒸發(fā)源設(shè)計(jì)和對(duì)位技術(shù)的二次創(chuàng)新，攻克了硅基OLED蒸鍍機(jī)膜厚均一性、穩(wěn)定性和微米級(jí)高精密定位技術(shù)難題。同時(shí)，對(duì)于某些特殊蒸鍍材料，通過(guò)蒸鍍趨勢(shì)模擬，開發(fā)特定的蒸發(fā)源并制定蒸鍍工藝實(shí)現(xiàn)其長(zhǎng)期穩(wěn)定蒸鍍。

合肥欣奕華現(xiàn)擁有3萬(wàn)平米的蒸鍍機(jī)研制潔凈車間，各類先進(jìn)研發(fā)設(shè)備和儀器20余臺(tái)套，組建了一支國(guó)際化高端人才團(tuán)隊(duì)，形成了完善的蒸鍍機(jī)技術(shù)研發(fā)體系。合肥欣奕華OLED事業(yè)部總經(jīng)理曹景博介紹：“合肥欣奕華已形成了完善的蒸鍍機(jī)相關(guān)技術(shù)研發(fā)體系，在蒸發(fā)源、真空腔體、高精密對(duì)位、封裝、工藝控制等方面相關(guān)技術(shù)水平已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)。”據(jù)了解，合肥欣奕華研發(fā)的OLED蒸鍍機(jī)已實(shí)現(xiàn)多臺(tái)銷售業(yè)績(jī)，是國(guó)內(nèi)研發(fā)、生產(chǎn)、銷售走在前列的蒸鍍機(jī)制造廠商。其更以創(chuàng)新為驅(qū)動(dòng)力，緊跟市場(chǎng)形勢(shì)，加快推進(jìn)硅基蒸鍍機(jī)等新設(shè)備的研發(fā)步伐。恰如觀宇科技總經(jīng)理陸隆鳴所說(shuō)：“持續(xù)勇于創(chuàng)新，保持開放合作，是公司邁向永續(xù)的基礎(chǔ)。”合肥欣奕華CEO張海濤表示：“公司完成了國(guó)內(nèi)首臺(tái)全自主開發(fā)的量產(chǎn)硅基蒸鍍機(jī)交付，一方面得益于我們對(duì)蒸鍍機(jī)及其關(guān)鍵裝置開發(fā)的長(zhǎng)期技術(shù)積累，另一面得益于客戶對(duì)我們的認(rèn)可和支持，是我們與客戶共同創(chuàng)新的成果。我們非常看好元宇宙帶動(dòng)下硅基OLED顯示技術(shù)的未來(lái)發(fā)展，愿意持續(xù)為產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展做出我們的貢獻(xiàn)。”

硅基OLED顯示器件以單晶硅芯片為基底，利用IC技術(shù)，像素密度可達(dá)到2000PPI以上，精細(xì)度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)顯示器件，可與AR/VR等設(shè)備實(shí)現(xiàn)完美契合。隨著市場(chǎng)應(yīng)用的持續(xù)擴(kuò)大，對(duì)硅基OLED微顯示產(chǎn)品的關(guān)注程度日漸提升。中國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院預(yù)計(jì)2023年硅基OLED市場(chǎng)規(guī)模有望達(dá)900億美元。近來(lái)，元宇宙熱度高居不下，AR/VR作為構(gòu)建元宇宙的關(guān)鍵設(shè)備備受追捧，國(guó)內(nèi)外大型互聯(lián)網(wǎng)科技企業(yè)紛紛布局。根據(jù)國(guó)際數(shù)據(jù)公司IDC的數(shù)據(jù)，2021年第一季度中國(guó)VR產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)規(guī)模超400億元，同比增長(zhǎng)52.4%，同時(shí)有行業(yè)數(shù)據(jù)顯示，中國(guó)VR產(chǎn)業(yè)的市場(chǎng)規(guī)模，2023年預(yù)計(jì)將達(dá)到1051.6億元。在利好的市場(chǎng)前景面前，國(guó)內(nèi)相關(guān)企業(yè)近幾年紛紛加大硅基OLED相關(guān)產(chǎn)業(yè)投資，未來(lái)將帶來(lái)較大的硅基蒸鍍機(jī)需求市場(chǎng)空間。