據(jù)韓媒thelec報道，韓國晶圓廠和顯示器生產(chǎn)設(shè)備制造商AP Systems近日表示，將為維信諾（Visionox）位于合肥的第8.6代OLED生產(chǎn)線V5獨家供應(yīng)關(guān)鍵設(shè)備——準分子激光退火（ELA）和激光剝離（LLO）系統(tǒng)。

維信諾此次在合肥V5園區(qū)投資高達550億元人民幣，目標是建設(shè)一條采用其自主研發(fā)的ViP（Visionox in-house Pixelation）技術(shù)的產(chǎn)線。

目前，F(xiàn)MM長期被日韓企業(yè)壟斷，不僅成本高昂，且在大尺寸OLED生產(chǎn)中存在蒸鍍效率低、良率難控等問題。而ViP是維信諾自主研發(fā)的“智能像素化”技術(shù)，核心在于用半導體光刻工藝取代傳統(tǒng)的精細金屬掩模（FMM），實現(xiàn)無掩模、RGB自對位像素化的AMOLED生產(chǎn)方案。

該技術(shù)的最大亮點在于無需使用傳統(tǒng)的精細金屬掩模（FMM），即可實現(xiàn)高精度RGB像素圖案化。ViP技術(shù)被定位為 AMOLED+時代的升級平臺，兼容多種顯示技術(shù)（單層、Tandem 疊層等），可為從1?英寸到80?英寸的全尺寸面板提供統(tǒng)一的工藝路徑。

不過，要實現(xiàn)ViP技術(shù)的高效量產(chǎn)，離不開上游核心設(shè)備的支持。AP Systems將提供ELA設(shè)備，用于將非晶硅轉(zhuǎn)變?yōu)槎嗑Ч琛Ｔ摴に嚳蓪㈦娮舆\動速度提高百倍以上，這對于高分辨率OLED面板至關(guān)重要。

而LLO工藝用于將玻璃基板與柔性O(shè)LED分離，主要通過利用激光束照射在聚酰亞胺基板和玻璃基板之間來實現(xiàn)。這一過程對激光能量控制精度要求極高，稍有偏差便可能損壞沉積的有機材料，直接影響面板良率與壽命。

AP Systems還表示，它不僅僅是V5項目的ELA設(shè)備唯一供應(yīng)商，此前其也已為維信諾的V1、V2、V3產(chǎn)線提供同類設(shè)備。

 

責編：Jimmy.zhang