11月4日，在2025硬科技創(chuàng)新大會光子產(chǎn)業(yè)高峰會議上，陜西光電子先導(dǎo)院總經(jīng)理楊軍紅介紹陜西“追光計劃”階段性進展，宣布光電子先導(dǎo)院建設(shè)的“8 英寸先進硅光集成技術(shù)創(chuàng)新平臺”（簡稱“8英寸硅光平臺”）已正式通線，并發(fā)布了一款無源SOI（絕緣襯底上的硅）集成超低損耗氮化硅產(chǎn)品的PDK（工藝設(shè)計套件）。

楊軍紅表示，作為西北地區(qū)首條硅光中試線，8英寸硅光平臺的正式通線，不僅填補了區(qū)域硅光芯片中試領(lǐng)域空白，更成為陜西“追光計劃”實施以來的標(biāo)志性成果，將作為陜西打造千億級光子產(chǎn)業(yè)集群的核心支點，為“追光計劃”從藍(lán)圖邁向?qū)嵺`注入關(guān)鍵動力。

陜西光電子先導(dǎo)院總經(jīng)理楊軍紅介紹“追光計劃”進展及硅光中試平臺

錨定追光藍(lán)圖，構(gòu)筑產(chǎn)業(yè)躍遷核心支點

自 2021 年陜西“追光計劃”啟動以來，全省光子產(chǎn)業(yè)已實現(xiàn)跨越式成長——企業(yè)數(shù)量攀升至370多家，產(chǎn)業(yè)規(guī)模從150億元躍升至 365 億元，初步構(gòu)建起“材料—芯片—器件—系統(tǒng)”的完整產(chǎn)業(yè)鏈條。2023 年升級啟動的“追光計劃—躍遷行動”，更以“一核兩翼+一園三區(qū)”布局明確發(fā)展路徑：西安高新區(qū)作為核心承載區(qū)，集聚光子芯片園、光子制造園等特色載體，而光電子先導(dǎo)院正是這一布局中的 “創(chuàng)新策源中樞”。

“8 英寸硅光平臺的通線，徹底補全了陜西在硅光芯片中試領(lǐng)域的短板。”楊軍紅表示，作為“追光計劃”的核心支撐平臺，光電子先導(dǎo)院已累計投入約15億元構(gòu)建“6英寸化合物芯片+8英寸硅光芯片”雙中試平臺，此前6英寸化合物平臺已服務(wù)50余家企業(yè)，如今硅光平臺的加入，將與西安科學(xué)園的先進阿秒激光設(shè)施、光子傳感園的產(chǎn)業(yè)化載體形成聯(lián)動，為“追光計劃”培育千億級集群提供從基礎(chǔ)研究、中試驗證到量產(chǎn)落地的全鏈條支撐。

數(shù)據(jù)顯示，“追光計劃”推進四年來，光電子先導(dǎo)院已解決 100 余家初創(chuàng)企業(yè)“研發(fā)難、流片難”問題。此次硅光中試線的啟用，更被視為計劃向“高質(zhì)量集群發(fā)展”邁進的關(guān)鍵落子——通過中試能力的完善，陜西將進一步吸引產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)集聚，加速“材料— 芯片—應(yīng)用”的產(chǎn)業(yè)閉環(huán)形成。

陜西光電子先導(dǎo)院總經(jīng)理楊軍紅介紹“追光計劃”進展及硅光中試平臺

填補西北空白，硬核平臺破解行業(yè)困境

硅光技術(shù)作為AI算力、智能駕駛、量子通信等前沿領(lǐng)域的核心支撐，正處于技術(shù)突破與應(yīng)用落地的關(guān)鍵期，但其產(chǎn)業(yè)發(fā)展長期受限于中試資源集中的困境。楊軍紅介紹稱，全球硅光中試資源多掌握在歐美企業(yè)手中，國內(nèi)企業(yè)依托國外平臺流片需支付高昂費用，且面臨流片周期長、產(chǎn)能優(yōu)先供給受限等問題，自建產(chǎn)線則需巨額設(shè)備投入，讓中小企業(yè)和科研團隊望而卻步。

光電子先導(dǎo)院8英寸硅光平臺白光區(qū)

光電子先導(dǎo)院的8英寸硅光平臺，正是破解這一困境的“硬核方案”。該平臺總投資7.5億元，于2023年底啟動建設(shè)。截至2025年9月末，已完成全部場地及硬件設(shè)施建設(shè)。該平臺引進了比利時IMEC“130nm硅光芯片工藝包”，并引入了光刻、刻蝕等60余臺（套）關(guān)鍵核心設(shè)備，在130nm有源集成硅光主工藝平臺基礎(chǔ)上，開發(fā)90nm以上先進工藝，已構(gòu)建起自主可控的先進工藝體系。

值得一提的是，在會議現(xiàn)場，光電子先導(dǎo)院還正式發(fā)布了一款無源SOI（絕緣襯底上的硅）集成超低損耗氮化硅產(chǎn)品的PDK（工藝設(shè)計套件）。“這是光電子先導(dǎo)院硅光平臺發(fā)布的首款PDK，預(yù)計將于2026年完成有源產(chǎn)品通線，包含高性能調(diào)制器、探測器等核心器件，將加速可應(yīng)用于人工智能、光通信、光計算、智能駕駛、低空飛行、醫(yī)療健康等領(lǐng)域的產(chǎn)品迭代進程，將大幅縮短光電、硅光客戶的流片周期和研發(fā)成本。”楊軍紅表示。

“1+N 模式”構(gòu)建生態(tài)，驅(qū)動產(chǎn)業(yè)協(xié)同發(fā)展

此次硅光平臺通線，使光電子先導(dǎo)院形成“6 英寸化合物芯片 + 8 英寸硅光芯片”的雙中試平臺格局，成為國內(nèi)少數(shù)具備全鏈條中試能力的創(chuàng)新載體。而支撐這一雙平臺高效運轉(zhuǎn)的，正是光電子先導(dǎo)院在國內(nèi)率先提出的“1+N”柔性工程平臺模式。

“‘1’即以‘6 英寸化合物VCSEL平臺+8英寸硅光平臺’為核心的主工藝平臺，承擔(dān)資源整合與穩(wěn)定運行的使命——我們將80% 資源向中小企業(yè)開放中試流片服務(wù)，加速產(chǎn)品市場化；20%資源用于支持前沿創(chuàng)新研發(fā)，孵化突破性技術(shù)。” 楊軍紅解釋，在此基礎(chǔ)上，“N”個特色工藝平臺將針對磷化銦探測器、砷化鎵射頻器件等細(xì)分領(lǐng)域，通過設(shè)備共享、技術(shù)授權(quán)、聯(lián)合定制研發(fā)等方式，降低企業(yè)初始投入，實現(xiàn)專項突破。

光電子先導(dǎo)院8英寸硅光平臺黃光區(qū)，技術(shù)人員正在操作光刻機

這一模式已初見成效。6 英寸化合物平臺自 2023 年啟用以來，已發(fā)布20余款 PDK，為 50 余家客戶提供全流程服務(wù)；8英寸硅光平臺雖剛通線，但已與十余家頭部企業(yè)達(dá)成意向合作協(xié)議，并吸引了多家外地企業(yè)聚集陜西。深圳瑞識智能科技有限公司董事長汪洋的感受頗具代表性：“海外代工廠解決不了研發(fā)階段所需的高度定制化需求，但在光電子先導(dǎo)院，排隊等待中試的時間少了、交流的效率高了，速度比在國外做中試快5倍以上。”

“從化合物半導(dǎo)體到硅光集成，我們正以平臺能力躍升支撐新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展。” 楊軍紅透露，下一步將推進異質(zhì)異構(gòu)集成平臺建設(shè)，構(gòu)建“化合物半導(dǎo)體+硅光+異質(zhì)異構(gòu)集成”三位一體的平臺架構(gòu)，實現(xiàn)從材料生長、芯片制程、器件封裝到系統(tǒng)測試的全鏈條覆蓋，為光通信、生物傳感、人工智能等前沿領(lǐng)域提供關(guān)鍵支撐，助力陜西成為光子產(chǎn)業(yè)高地。

責(zé)編：Luffy