奕斯偉“氣體回收裝置和外延設(shè)備”專利公布
2025-09-28
來源：愛集微
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關(guān)鍵詞： 氣體回收裝置 外延設(shè)備 奕斯偉專利
天眼查顯示，西安奕斯偉材料科技股份有限公司“氣體回收裝置和外延設(shè)備”專利公布，申請公布日為2025年3月21日，申請公布號為CN119663436A。
本公開提供了氣體回收裝置和外延設(shè)備，所述氣體回收裝置用于回收外延反應(yīng)腔室內(nèi)的氣體，所述氣體回收裝置包括：導(dǎo)管和氣體收集容器，其中，所述導(dǎo)管的第一端與所述外延反應(yīng)腔室連通，所述導(dǎo)管的第二端與所述氣體收集容器連通；所述導(dǎo)管的內(nèi)部設(shè)置有用于促進氣體向所述氣體收集容器流動的導(dǎo)引部。
