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有點搞笑了,佳能5nm納米壓印技術,也離不開EUV光刻機

2023-10-27 來源:科技專家
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關鍵詞: 佳能 ASML

眾所周知,前段時間,佳能官宣自己的FPA-1200NZ2C光刻設備,可以出貨了,這種光刻設備,采用的是NIL納米壓印技術,可以制造 5 nm 芯片。


一時之間,全網(wǎng)沸騰,大家都表示,這是繞開了ASML的EUV光刻機,能直接生產(chǎn)5nm芯片,是一個偉大的進步,ASML接下來估計要哭了。



畢竟之前所有的芯片制造,進入5nm時,必須使用EUV光刻機,而EUV只有ASML能夠制造,所以ASML是高端光刻機的王者,現(xiàn)在佳能攪局,讓大家不需要從ASML采購EUV光刻機,也能夠生產(chǎn)芯片,當然對ASML影響最大。


且佳能還表示,這一代NIL納米壓印光刻機之后,佳能正在研究下一代,可以實現(xiàn)2nm的芯片制造,也不需要EUV光刻機。



當然,業(yè)界對這個技術也比較質(zhì)疑,因為之前鎧俠、SK海力等,與佳能合作過,搞過NIL納米壓印技術,還是在20多納米的時候,但那時候良率低,效率也低,現(xiàn)在進入5nm,佳能搞定良率、效率等問題了么?


還有人質(zhì)疑,有了NIL納米壓印光刻機后,EUV光刻機真的可以扔了么?


但我告訴大家一個事實,那就是你使用NIL納米壓印技術來制造5nm芯片時,其實還離不開EUV光刻機。



NIL納米壓印技術的原理,很簡單,就像蓋章一樣,第一步先雕刻一個圖章出來,下一步拿這個圖章,直接印到硅晶圓上,就形成了電路圖。


只要這個圖章不磨損,就可以一直蓋章蓋下去,看起來確實簡單很多,原理也簡單。


但核心是這個圖章,你必須制造出和設計出來的芯片一樣大小,一樣圖案的圖章,然后才能蓋下去,如何制造這個圖章,才是真正的核心問題。


蓋章的過程示意


目前在NIL納米壓印技術生產(chǎn)線中,圖章的制造,還是采用EUV光刻機來制造,用EUV光刻機來雕版,制造成需要的圖章,然后再利用NIL納米壓印技術,拼命的往硅晶圓上蓋章,制造成芯片。


可見,在這個技術之下,EUV光刻機依然繞不過去,只是可能需求量沒那么大了,畢竟只需要制造前期的母版就行。


但要完全繞開EUV,似乎還不可行,并且這個NIL技術,可靠性怎么樣,效率怎么樣,良率怎么樣,與其它半導體設備的配合又怎么樣,還不清楚,所以大家別想著,有了這個NIL光刻機,EUV就不重要了,所以我們還是老老實實的,一步一步往前走,別想著繞道或偷懶,你覺得呢?



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