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我們7nm芯片制造的“漏洞”,要被美國堵上了?

2023-10-20 來源:科技專家
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關鍵詞: 光刻機 華為 中芯國際

眾所周知,前段時間華為麒麟9000S芯片的橫空出世,讓大家都認為,我們有了7nm芯片的制造能力。


因為按照外媒采用電子顯微鏡,對這顆芯片進行掃描并逆向分析后,得出其晶體管密度約為98MTr/mm2,也就是9800萬個每平方毫米,與臺積電的7nm工藝差不多。



我們沒有EUV光刻機,那么這種等效于7nm的芯片,是如何造出來的?專業人士分析,采用浸潤式光刻機,采用多重曝光的技術。


而浸潤式光刻機,之前ASML是可以賣給我們的,ASML只有EUV不能賣給我們,所以我們可以利用浸潤式光刻機,進行多重曝光,最終搞定7nm。



事實上,美國去年的芯片禁令,是限制任何14nm及以下工藝的設備賣到中國來的,所以嚴格的來講,對美國而言,這種浸潤式光刻機,其實算是一個“漏洞”了。


所以,當麒麟9000S橫空出世之后,近日,美國終于再次出手,將這個“漏洞”堵住了。


按照近日再次升級的芯片禁令,針對光刻機,美國提出了更高的要求,針對193nm波長、分辨率小于40nm的光刻機,其DCO值不能小于2.4,而去年針對這種光刻機,DCO的值是不小于1.5。



而ASML目前在售的所有浸潤式光刻機中,相對最落后的一款型號是NXT:1980Di,波長是193nm,分辨率是38nm,DCO值是1.6,介于1.5和2.4之間。


按照去年的禁令,DCO值是1.6大于1.5,所以是可以銷售的。按照這次升級的禁令,DCO值小于2.4了,所以又是不能銷售的,那么意味著ASML所有的浸潤式光刻機,均無法賣到中國大陸來了。



很明顯,美國這次就是想將所有浸潤式光刻機都堵住,不留任何破綻,讓我們想利用浸潤式光刻機,采用多重曝光技術來生產7nm芯片都不行,從而阻止麒麟9000S這樣的芯片出現。


不過,大家也都清楚,之前這種浸潤式光刻機沒有受限,所以國內肯定買了很多,這些光刻機后續可以繼續使用,短時間之內肯定沒太多問題的。


但是,由于禁令限制,一旦所有浸潤式光刻機都受限之后,后續的維護、保養、更換備件都會受影響,所以最終還得自研,靠自己來突破才行。



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