據日本《外匯法》，對可用于軍事目的的武器等民用物品的出口進行管制，出口需要事先獲得經濟產業省的許可。雖然中國和其他特定國家和地區未被明確列為受監管對象，但新增的23個項目將需要單獨許可證，不包括友好國家等42個國家和地區的許可證，這給中國和其他國家的出口帶來了實際困難。

日媒指出，新芯片設備出口規定是基于日本《外匯和外國貿易法》省令的修訂版，面向特定國家和地區的出口將在事實上變得困難。

與此同時，東京電子等約10家企業的對華出口預計將受到影響。

日本正式實施新芯片設備出口管制涉及的對象是在半導體制造中“前工序”所需的品類，23個品類包括極紫外（EUV）相關產品的制造設備，及可立體堆疊存儲元件的蝕刻設備等。

具體來看，日本政府新增的半導體方向出口管控對象明細：

• 清洗設備：半導體前段工藝除去表面異物的清洗設備；

• 成膜設備：利用等離子旋轉晶圓，形成原子級別膜的設備，利用EUV光掩膜的成膜設備，準確形成硅膜、硅化合物膜的設備；

• 熱處理：通過熱處理，除去薄膜內空隙的設備；

• 曝光：EUV涂覆、顯影設備，防護板(EUV光掩膜方向)生產設備，ArF液浸式曝光設備；

• 蝕刻：具有立體結構的最尖端的蝕刻設備；

• 檢查：EUV光掩膜檢測設備。

中國商務部新聞發言人5月曾就此事回應道，日本政府正式出臺針對23種半導體制造設備的出口管制措施，這是對出口管制措施的濫用，是對自由貿易和國際經貿規則的嚴重背離，中方對此堅決反對。

在日方措施公開征求意見期間，中國產業界紛紛向日本政府提交評論意見，多家行業協會公開發表聲明反對日方舉措，一些日本行業團體和企業也以各種方式表達了對未來不確定性的擔憂。但令人遺憾的是，日方公布的措施未回應業界合理訴求，將嚴重損害中日兩國企業利益，嚴重損害中日經貿合作關系，破壞全球半導體產業格局，沖擊產業鏈供應鏈安全和穩定。

日方應從維護國際經貿規則及中日經貿合作出發，立即糾正錯誤做法，避免有關舉措阻礙兩國半導體行業正常合作和發展，切實維護全球半導體產業鏈供應鏈穩定。中方將保留采取措施的權利，堅決維護自身合法權益。