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臺積電啟動2nm晶圓廠建設,預計2025年量產

2022-04-21 來源:網絡整理
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關鍵詞: 臺積電


4月21日消息,據臺灣媒體報道,晶圓代工龍頭臺積電位于臺灣竹科寶山二期的2nm晶圓廠Fab 20建廠計劃已正式啟動。


竹科管理局局長王永壯20日表示,竹科管理局已將部分用地租予臺積電,臺積電將可展開整地作業,估計最晚將于6月取得所有用地。另外,世界先進評估興建12吋廠且有意進駐銅鑼園區設廠,王永壯表示待環差案通過將進行用地分配。


王永壯表示,竹科寶山二期擴建計劃進展順利,經過幾十次溝通,已有超過九成的地主同意價購征收,新竹縣政府將于4月底公告征收,估計最晚將于6月取得所有用地。同時,管理局3月已將部分用地租予臺積電,臺積電可以展開整地作業。


臺積電此前已確定將在竹科寶山二期興建Fab 20超大型晶圓廠,未來在此生產2nm。


設備業者指出,臺積電Fab 20廠區將分為第一期到第四期、共興建4座12吋晶圓廠,預計2024年下半年進入風險性試產,2025年進入量產。臺積電2nm制程將采用納米層片(Nanosheet)的環繞閘極(GAA)晶體管架構,技術開發進度符合預期。


臺積電2nm之后的更先進制程將進入埃米(angstorm)時代,業界預期,臺積電后續將推進到18埃米(1.8nm),但尚未決定設廠地點。設備業者評估,臺積電2nm需求強度若優于預期,竹科用地不足,將可能轉赴臺中建立2nm及18埃米等先進制程晶圓廠,中科二期用地已納入考慮。


臺積電去年進入2nm N2制程技術的開發階段,著重于測試載具設計與實作、光罩制作及硅試產等,主要進展在于提升基礎制程設定、晶體管與導線性能。在光刻技術部份,臺積電研發組織藉由提升晶圓良率達到可靠影像以支持3nm試產,并提升極紫外光(EUV)的應用、降低材料缺陷與增進平坦化的能力,以支持2nm技術的開發。



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