據(jù)常春藤投資消息，近日，安弧科技宣布完成數(shù)千萬(wàn)元天使輪融資，本輪由常春藤資本領(lǐng)投，長(zhǎng)投集團(tuán)、常見(jiàn)投資跟投。資金將用于靜電卡盤(pán)及配套控制器等半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件研發(fā)，該公司總部已遷往浙江嘉興經(jīng)開(kāi)區(qū)。

安弧科技專(zhuān)注于半導(dǎo)體制造關(guān)鍵部件-靜電卡盤(pán)（ESC, E-CHUCK）的研發(fā)與生產(chǎn)。

目前，我國(guó)靜電卡盤(pán)的研發(fā)制造仍處于起步階段，進(jìn)口依賴(lài)度達(dá)95%以上，被日韓美制造商高度壟斷，屬于“卡脖子”關(guān)鍵零部件，尤其在半導(dǎo)體制裁加劇的背景下，國(guó)產(chǎn)替代需求進(jìn)一步增強(qiáng)。常春藤投資消息指出，安弧科技致力于打破國(guó)外廠商在半導(dǎo)體靜電卡盤(pán)領(lǐng)域的長(zhǎng)期壟斷，推動(dòng)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程，提升我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主可控能力。

安弧科技創(chuàng)始人兼CEO李瀛龍擁有上海交通大學(xué)機(jī)械工程與密歇根大學(xué)（美國(guó)）航空航天工程雙學(xué)士學(xué)位，聯(lián)合創(chuàng)始人兼COO韓紹庭擁有復(fù)旦大學(xué)數(shù)學(xué)學(xué)士學(xué)位，二人作為碩士研究生同學(xué)共同畢業(yè)于加州大學(xué)伯克利分校（美國(guó)），畢業(yè)后分別在海外半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)與資本市場(chǎng)投融資頭部企業(yè)任職十余年。歸國(guó)后，兩人一拍即合決定創(chuàng)業(yè)組建團(tuán)隊(duì)。據(jù)悉，該公司團(tuán)隊(duì)成員畢業(yè)于上海交通大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、加州大學(xué)伯克利分校（美國(guó)）、特魯瓦科學(xué)技術(shù)大學(xué)（法國(guó)）、東京工業(yè)大學(xué)（日本）等國(guó)內(nèi)外頂尖高校，曾就職于ASML等知名企業(yè)，在半導(dǎo)體設(shè)備零部件領(lǐng)域擁有豐富的研發(fā)實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)。

靜電卡盤(pán)相較于傳統(tǒng)的機(jī)械卡盤(pán)與真空卡盤(pán)，能有效避免傳統(tǒng)機(jī)械卡盤(pán)在使用過(guò)程中由于壓力、碰撞等機(jī)械原因?qū)斐刹豢尚迯?fù)的損傷，減少顆粒污染，增大晶片的有效加工面積，同時(shí)克服了真空卡盤(pán)不可應(yīng)用于低壓環(huán)境的缺陷。靜電卡盤(pán)已經(jīng)取代了傳統(tǒng)的機(jī)械卡盤(pán)與真空卡盤(pán)成為半導(dǎo)體裝備中非常重要的通用零部件。

（來(lái)源：常春藤投資）

在靜電卡盤(pán)材料選擇上，安弧科技聚焦玻璃基，其工藝選擇多、材料成本低、難度可靈活適配，熱膨脹系數(shù)可調(diào)且有更加優(yōu)異的耐壓表現(xiàn)，在先進(jìn)制程等領(lǐng)域具有突出優(yōu)勢(shì) 。

此外，安弧科技還提供高穩(wěn)定性、低電磁干擾的配套器件，涵蓋傳感、偏壓、熱控等數(shù)字控制和電源模塊，與靜電卡盤(pán)產(chǎn)品形成協(xié)同，滿足客戶的多樣化需求。

長(zhǎng)投集團(tuán)表示：本次投資安弧科技，將進(jìn)一步增強(qiáng)區(qū)域產(chǎn)業(yè)鏈韌性，帶動(dòng)嘉興市半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向高技術(shù)、高附加值領(lǐng)域延伸。